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반도체 제조 공정중 발생되는 불필요한 물질을 CHEMICAL을 사용하여 식각, 현상, 박리, 세정하는 장비입니다.
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PTFE Bath : Acid, Alkali Chemical 등의 내약품성 및 고온 공정용으로 적합함.
Quart’z Bath : 고순도 및 고온용 공정에 적합하며, Ultrasonic, Megasonic 공정 적용이 가능함.
SUS Bath : Alkali, Organic Chemical 사용에 적합하며, Ultrasonic, Megasonic 공정 적용이 가능함.
PVC Bath : DI/W RINSE 공정용으로 Shower, Bubble 공정에 적합함.
기타 Engineering Plastic 재질의 소재를 사용하여 주문 제작 가능함 (PVDF, PP, PE….)
※(주)유니온이엔지 전제품은 사용처와 용도에 맞게 주문제작(Order Made) 가능합니다.
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Tarnsfer Robot Auto
장비에 장착되는 Unit으로 Chemical Fume으로부터 작업자를 보호함과 동시에 자동화로 인하여 균일한 공정
진행이 가능하며 장비의 공정수량에 따라 장착되는 수량을 선정한다.
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용 Up/Down시켜 세정력 향상에 용이함.
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